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產品信息

白光干涉儀/光學3D表面輪廓儀

產品詳情

    產品名稱:光學3D表面輪廓儀

  • 光學Zoom:1×,(0.75×,0.5×可選)
  • 影像系統:1024×1024
  • 干涉物鏡:2.5×,5×,10×,20×,50×
  • XY平臺移動范圍:140×110mm
  • 控制方式:電動
  • Z軸行程:100mm
  • Z向掃描范圍:10mm
  • Z向掃描速度:>45μm/s
  • Z向分辨率:0.1nm
  • 可測樣品反射率:0.05%-100%
  • 水平調整:±5°,手動
  • 粗糙度RMS重復性:0.005nm
  • 臺階高測量:準確度<0.7%,重復性<0.1% 1σ

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